从机械制造技术发展来看,过去和现在达到怎样的精度可被称为
精密加工和超精密加工。通常将加工精度在0.1-1微米,加工表面粗超度在0.02-0.1微米之间的加工方法称为精密加工。而将加工精度高于0.1微米,
加工表面粗糙度小于0.01微米的加工方法称为超精密加工。
精密加工和超精密加工的领域。精密加工和超精密加工的领域主要包括三方面。
1.超精密切削,如超精密金刚石刀具切削,可加工各种境界。它成功的解决了高精度陀螺仪,激光发射镜和某些大型反射件的加工。
2.精密加工和超精密加工磨削研磨。例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬度磁盘的加工。
3.精密特种加工。如电子束,离子束加工。
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